X線マイクロアナライザー

島津製作所株式会社製 EMX−SM7

概要

細く絞った電子ビームを試料に照射し、照射点から発生する特性X線の波長と強度を測定することにより、試料のサブミクロン領域を元素分析することができ、同時にこの領域での高分解能SE像が得られる機能
を備えた装置です。本装置は固体表面、界面、薄膜の形状などの形態学的観察のみならず不純物の偏析、固溶、分布の定性、定量分析が可能で、金属、地質・鉱物、セラミックス、化学、電気・電子工学など
の幅広い分野で利用できます。
 

利用条件

 測定は依頼分析とする。依頼者は分析内容を担当者と打ち合わせた上で分析依頼を申し込むこと。測定に必要な消耗品は依頼者負担とする。

管理者
池田進

設置場所
総合分析実験センター本庄地区・理工学部9号館